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XPS测试（XYì线光电子能谱仪
X射线光电子能谱（XPS，基于光电离作用，当一束光子Fú射到样品表面时，Guāng子可以被样Pǐn中某Yī元素的原子轨道上的DiànZǐSuǒ吸收，Shǐ该原Zǐ解脱原子核的束缚，以一定的动能从原子内部发射出来，变成自由的光电子，而原子本身则变Chéng一个激发态的离子。当固定激发源能量时，其光电子的能量仅与元素的种类和所电离激发的原子轨道有关，由此根据光电子的Jié合能定性分析物质的元素种类。经X射线辐照后，从样品表面射出的光电子的强Duó与样品中该原子的浓度Chéng线性关系，可以进一步进行元素的半定量分析。另外，XPS的重要应用是对元素的化学价态进行分析。
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